熱壓法:把銦粉末在高溫和高壓下壓制成型,能夠提高靶材的致密度和機械強度,同時有助于減少氣孔和其他缺陷。
冷等靜壓法:利用液壓介質(zhì)在室溫下對銦粉末施加均勻壓力使其成型,可制造出高密度和均勻性的靶材,但需要后續(xù)的燒結(jié)處理來提高其機械性能。
光學領(lǐng)域:用于制造反射率與銀鏡一樣高但不會褪色的鏡,還可用于制造其他光學器件,如濾光片、光通信器件等。
其他領(lǐng)域:可用于制造低熔點合金,如 24%銦和 76%鎵的合金在室溫下為液態(tài),此外,還可用于制造整流器、熱敏電阻和光電導體等電氣組件。
固態(tài)電池與儲能技術(shù)
前沿應用:銦作為固態(tài)電解質(zhì)的界面改性材料,改善電極與電解質(zhì)的接觸阻抗,提升固態(tài)電池的循環(huán)壽命和性。
濺射時間與沉積厚度
厚度監(jiān)控:使用石英晶體微天平(QCM)實時監(jiān)測薄膜沉積速率,結(jié)合靶材消耗速率(約 0.1~0.5 μm/min,與功率相關(guān)),控制濺射時間。
靶材利用率:避免過度濺射導致靶材 “打穿”(剩余厚度<2 mm 時需及時更換),通常平面靶材利用率約 30%~40%,旋轉(zhuǎn)靶可提升至 60% 以上。

